I te tau 2020, neke atu i te kotahi piriona maramara i mahia puta noa i te ao, e rite ana ki te 130 maramara kei a ia tangata o te ao.Heoi ano, ko te ngoikoretanga o te maramara tata tonu e whakaatu ana kaore ano tenei nama i eke ki tona rohe o runga.
Ahakoa kua taea kee te hanga maramara i runga i te rahinga nui, ehara i te mea ngawari te mahi.He uaua te tukanga o te hanga maramara, a i tenei ra ka hipokina e matou nga waahanga tino nui e ono: te whakakoi, te paninga whakaahua, te tuhi, te tuhi, te whakauru katote, me te kapi.
Whakapae
Ka timata te takahanga waipara ki te angiangi, he mea tapahia mai i te 99.99% parakore silicon cylinder (e kiia ana ko te "silicon ingot") ka orohia ki te tino maeneene, katahi ka tukuna he kiriata angiangi o te kawe, insulator, semiconductor ranei. ki runga i te angiangi, i runga ano i nga whakaritenga hanganga, kia taia ai te paparanga tuatahi ki runga.Ko tenei taahiraa nui e kiia ana ko te "whakapae".
I te mea ka iti ake, ka iti ake nga maramara, ka kaha ake te uaua o nga tauira ta i runga i nga angiangi.Ko te ahu whakamua i roto i te waipara, te tarai me te lithography he mea matua kia iti ake nga maramara, na reira ka mau tonu te Ture a Moore.Kei roto i tenei ko nga tikanga auaha e whakamahi ana i nga rawa hou kia tino tika ai te tukanga tuku.
Whakakikorua Photoresist
Ka whakakikoruatia nga mea angiangi ki te papanga whakaahua e kiia nei ko "photoresist" (e kiia ana ko "photoresist").E rua nga momo photoresists - "photoresists pai" me "photoresists kino".
Ko te rereketanga nui i waenga i nga photoresist pai me te kino ko te hanganga matū o te rauemi me te ahua o te photoresist ki te marama.I te take o nga photoresists pai, ko te waahi e kitea ana ki te rama UV ka huri i te hanganga ka nui ake te wairewa, na reira ka whakarite mo te tarai me te tuku.Ko nga photoresists kino, i tetahi atu taha, ka polymerize i nga waahi ka kitea ki te marama, na te mea ka uaua ake te whakakore.Ko nga photoresists pai te mea e whakamahia nuitia ana i roto i nga mahi hangahanga hikoi na te mea ka taea e ratou te whakatutuki i te taumira teitei ake, ka pai ake te whiriwhiri mo te atamira lithography.Inaianei he maha nga kamupene huri noa i te ao e whakaputa ana i nga photoresists mo te hanga semiconductor.
Photolithography
He mea nui te Photolithography i roto i te mahi hanga maramara na te mea ka whakatauhia te iti o nga transistors o te maramara.I tenei wa, ka tukuna nga angiangi ki roto i te miihini whakaahua whakaahua, ka kitea ki te rama ultraviolet hohonu.He maha nga wa he mano nga wa iti ake i te kirikiri o te onepu.
Ka torohia te marama ki runga i te angiangi na roto i te "pereti kanohi" ka iti haere te whakaata (te arotahi o te punaha DUV) me te arotahi i te tauira ara iahiko i hangaia ki te pereti kanohi ki runga i te photoresist i runga i te angiangi.Ka rite ki te korero o mua, ka pa te rama ki te photoresist, ka puta he huringa matū e tohu ana i te tauira ki te pereti kanohi ki runga i te paninga photoresist.
He mahi uaua te whakarite tika i te tauira e kitea ana, me te pokanoa matūriki, te hurihanga me etahi atu koha tinana, matū ranei ka taea i roto i te mahi.No reira i etahi wa ka hiahia tatou ki te arotau i te tauira whakakitenga whakamutunga ma te whakatika i te tauira i runga i te kanohi kia rite ai te ahua o te tauira i taia ki ta tatou e hiahia ai.Ka whakamahia e ta maatau punaha te "whakaahua rorohiko" ki te whakakotahi i nga tauira algorithmic me nga raraunga mai i te miihini lithography me nga angiangi whakamatautau ki te whakaputa i tetahi hoahoa kanohi he rereke rawa atu i te tauira whakakitenga whakamutunga, engari koira te mea e hiahia ana matou ki te whakatutuki na te mea koinei anake te huarahi ki te tiki tauira whakaaturanga e hiahiatia ana.
Te tarai
Ko te mahi e whai ake nei ko te tango i te photoresist kua whakahekehia hei whakaatu i te tauira e hiahiatia ana.I roto i te tukanga "etch", ka tunua te angiangi me te whakawhanake, ka horoia etahi o te photoresist ki te whakaatu i tetahi tauira 3D hongere tuwhera.Ko te tukanga tarai me te hanga i nga ahuatanga whakahaere tika me te rite tonu me te kore e whakararu i te tika me te pumau o te hanganga maramara.Ko nga tikanga tuhi matatau ka taea e nga kaihanga maramara te whakamahi i nga tauira takirua, tapawha me te mokowhiti hei hanga i nga rahi iti o nga hoahoa maramara hou.
Ka rite ki nga photoresists, ka wehewehea te tarai ki nga momo "maroke" me te "makuku".Ka whakamahia te haupapa whakamaroke hei tautuhi i te tauira e kitea ana i runga i te angiangi.Ka whakamahia nga tikanga matū hei horoi i te angiangi.
He maha nga paparanga o te maramara, no reira me ata whakahaere te whakairo kia kore ai e pakaru nga papa o raro o te hanganga maramara paparanga maha.Mena ko te kaupapa o te whakairo ko te hanga i te kohao i roto i te hanganga, he mea tika kia tino tika te hohonu o te rua.Ko etahi o nga hoahoa maramara tae atu ki te 175 nga paparanga, penei i te 3D NAND, he mea tino nui, he uaua hoki te mahi tuhi.
Werohanga Katote
Kia mau te tauira ki runga i te angiangi, ka pupuhihia te angiangi ki nga katote pai, kino ranei hei whakatika i nga ahuatanga kawe o tetahi waahanga o te tauira.Ka rite ki te rauemi mo te angiangi, te silicon rauemi mata ehara i te insulator tino tika ranei te conductor tino.Ka taka nga ahuatanga conductive o Silicon ki tetahi waahi i waenga.
Ko te whakahaere i nga katote kua tohua ki roto i te karaihe silicon kia taea ai te whakahaere i te rere o te hiko ki te hanga i nga huringa hiko ko nga poraka hanga taketake o te maramara, nga transistors, e kiia ana ko te "ionization", e kiia ana ko te "implantation katote".I muri i te katote o te paparanga, ka tangohia te toenga photoresist hei whakamarumaru i te waahi karekau i taraihia.
Te takai
E hia mano nga hikoinga hei hanga maramara i runga i te angiangi, a ka neke atu i te toru marama te haere mai i te hoahoa ki te hanga.Hei tango i te maramara mai i te angiangi, ka tapahia ki nga maramara takitahi ma te whakamahi i te kani taimana.Ko enei maramara, e kiia nei ko te "mate mate kore," ka wehea mai i te angiangi 12-inihi, ko te rahi e whakamahia ana i roto i te hanga semiconductor, na te mea he rereke te rahi o nga maramara, ka taea e etahi angiangi te mau mano tini maramara, ko etahi he torutoru noa iho. tatini.
Ka tuuhia enei angiangi karekau ki runga i te "papa" - he tïpako e whakamahi ana i te pepa konganuku hei whakatika i nga tohu whakauru me nga tohu whakaputa mai i te angiangi kau ki te toenga o te punaha.Kātahi ka uhia ki te “tuku wera”, he ipu whakamarumaru whakarewa iti, papatahi kei roto he whakamatao kia noho hauhautanga te maramara i te wa e mahi ana.
Kōtaha Kamupene
Ko Zhejiang NeoDen Technology Co., Ltd. kei te hanga me te kaweake i nga momo miihini iti me nga miihini waahi mai i te tau 2010. Ma te whakamahi i a maatau ake R&D mohio, mahi whakangungu pai, ka wikitoria a NeoDen te ingoa nui mai i nga kaihoko o te ao.
me te noho ki te ao i roto i nga whenua 130, te mahi pai, te tino tika me te pono o NeoDenNga miihini PNPkia tino tika mo te R&D, te mahi tauira ngaio me te hanga puranga iti ki te reo.Ka whakaratohia e matou he otinga ngaio mo nga taputapu SMT kotahi.
Tāpiri: No.18, Tianzihu Avenue, Tianzihu Town, Anji County, Huzhou City, Zhejiang Province, Haina
Waea: 86-571-26266266
Te wa tuku: Apr-24-2022